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氣體流量計/控制器HFM-301/HFC-303
| HFM-301氣體流量計 | HFC-303氣體流量控制器 | |
| 范圍（用戶可選） | (L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2) (H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N2) | (L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2) (H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N2) |
| 精度 | 滿量程的+ 1% | 滿量程的+ 1% |
| 重復性 | 滿量程的+ 0.7% | 滿量程的+ 0.7% |
| 最大工作壓力 | 500 PSIG (可選1500 PSIG) | 500 PSIG (可選1000 PSIG) |
| 模擬量輸入/輸出 (標準) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模擬量輸入/輸出 (可選) | 4 - 20 mA輸入和輸出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出 | 4 - 20 mA輸入和輸出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出 |
| 密封材質 | Viton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene | Viton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| 接口選項 | 面板安裝, VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋, NPT | VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋, NPT |
| 電氣連接 | D型15針 | D型15針 |
| 電源 | + 15 VDC @ 55 mA | + 15 VDC @ 150 mA |
| 濕液材質 | 316L SS, Nickel 200, 302 SS | 316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez? (閥座), 特氟龍 |