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氣體流量計/控制器HFM-300/HFC-302
| HFM-300氣體流量計 | HFC-302氣體流量控制器 | |
| 范圍（用戶可選） | 0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2) | 0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2) |
| 精度 | 滿量程的+ 0.75% 5 sccm to 10 slm 滿量程的+ 1.00% 10 slm to 25 slm | 滿量程的+ 0.75% 5 sccm to 10 slm 滿量程的+ 1.00% 10 slm to 25 slm |
| 重復性 | 滿量程的+ 0.07% | 滿量程的+ 0.07% |
| 最大工作壓力 | 500 PSIG (可選1000 PSIG) | 500 PSIG (可選1000 PSIG) |
| 模擬量輸入/輸出 (標準) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模擬量輸入/輸出 (可選) | 4 - 20 mA輸入和輸出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出 | 4 - 20 mA輸入和輸出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出 |
| 接口選項 | Surface Mount, VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋 | Surface Mount, VCR?, VCO?, Swagelok?,直螺紋 |
| 電氣連接 | D型15針 | D型15針 |
| 電源 | +15 VDC @ 55 mA | +15 VDC @ 55 mA |
| 濕液材質 | 316L SS, Nickel 200, 302 SS | 316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez? (閥座) |