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氣體流量計HFM-200 LFE
氣體流量計HFM-200 LFE
| HFM-200 LFE氣體流量計 | |
| 范圍（用戶可選） | 0 - 10 sccm to 0 - 15,000 slm (N2) |
| 精度 | + 1.0% of full scale |
| 重復性 | + 0.05% of full scale |
| 最大工作壓力 | 對于法蘭型層流元件：150 PSIG 對于螺紋型或光桿型層流元件：500 PSIG 對于傳感器部分：500 PSIG |
| 模擬量輸入/輸出 (標準) | 0 - 5 VDC |
| 模擬量輸入/輸出 (可選) | 4 - 20 mA, 0 - 20 mA |
| 接口選項，傳感器： 接口選項， LFE： | 1/4" Elbow 光桿，螺紋，法蘭（取決于流速） |
| 彈性密封選項 | Viton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| 電氣連接 (+/- 15 VDC) 電氣連接 (+24 VDC) | D型15針 D型9針 |
| 電源(+/- 15 V) 電源(+24 V) | + (14 - 16) VDC @ +30 mA (<1 W) (14 - 32) VDC (<1.9 W) |
| 濕液材質 | 316SS, Viton?, 87/13 Au/Ni Braze |